高分辨率硅片缺陷检测系统

高分辨率硅片缺陷检测系统
  • 参数功能
  • 技术优势
  • 应用场景

自动聚焦3~30ms

综合漏检率低于10%

综合错检率低于3%

综合光学放大率20~240pix/mm 可调

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